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    無氧烘箱,光刻膠固化烘箱 工業烘箱

    無氧烘箱,光刻膠固化烘箱 工業烘箱

    簡要描述:

    無氧烘箱,光刻膠固化烘箱應用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化,光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求

    無氧烘箱,光刻膠固化烘箱應用工藝

       無氧烤箱應用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化,光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,模擬線性升降溫環境,特別適合集成電路/半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求,廣泛應用于生產企業、高等院校、科研等場所。

    無氧烘箱,光刻膠固化烘箱特點

    精度高,可調整;

    溫度穩定性強,可重復性高;

    大容量,可批量生產;

    兼容性好,適用于2--12寸晶圓;

    智能化,操作方便,一鍵運行,無需人工值守;

    快速降溫,具有輔助降溫裝置,提高生產效率;

    無氧烘箱性能:

    溫度范圍:RT+50~450℃;

    內箱尺寸:多尺寸定制;

    材質:SUS304/316不銹鋼;

    氧含量:≤ 20ppm;

    數據輸出:溫度記錄/氧濃度記錄

    保護功能:短路保護、漏電保護、超溫保護、電機過電流保護、電磁門禁保護

    可選功能:

    潔凈度:class100

    真空度:10pa

    自動上下料:機械手

    工業自動化:MES/GEM

    無氧烘箱使用環境

    環境溫、濕度5℃~+35℃,相對濕度:≤85%;

    周圍無強烈震動;    

    無陽光直接照射或其它熱源直接輻射,

    周圍無強烈電磁場影響;

    周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質;



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